更新日: 2025/03/17
低真空分析走査電子顕微鏡 （SEM）
この設備は、本事業におけるデータ登録の対象設備です。
| 設備ID | NR-206 | |||||||||||||||
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| メーカー | 日立ハイテク | |||||||||||||||
| 型式 | SU6600 | |||||||||||||||
| 仕様 |
・加速電圧: 500 V 〜 30 kV ・分解能: 1.2 nm（2次電子像、加速電圧30 kV） ・EDS検出器搭載 ・EBSD検出器搭載 ・低真空機能搭載 |
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| 概要 | 様々な観察・分析を行うことができる走査電子顕微鏡です。低真空機能を搭載しており、チャージアップを軽減しながらの観察が可能です。EDS、EBSD検出器を搭載しており、効率的なEDS-EBSD同時分析も可能です。またW.D.が大きくできるので、粉体などの観察も可能です。 | |||||||||||||||
| 担当者 | 小池 徳貴 |
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| 利用料 |
利用料の詳細はこちらをご覧ください。 [ ]内は、研究データの収集・蓄積及び提供の一部又は全部を免除する場合の利用料です。 消費税は含まれていません。
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