微細形状測定装置
微細形状測定装置
設備情報更新日：2026/03/10
- CMP設備ID
- CMP-025
- メーカー
- 小坂製作所
- 型式
- ET200
- 仕様
-
・再現性 0.3nm以内
・分解能 Z: 0.1nm X: 0.1μm - 担当者
- 小池 徳貴
微細形状測定装置 利用料金
利用料金については、下記「微細形状測定装置に関するお問い合わせ」よりお問い合わせください。
設備情報更新日：2026/03/10
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