低真空分析走査電子顕微鏡
低真空分析走査電子顕微鏡 （SEM）
設備情報更新日：2026/03/10
- CMP設備ID
- CMP-034
- メーカー
- 日立ハイテク
- 型式
- SU6600
- 仕様
-
・加速電圧: 500 V 〜 30 kV
・分解能: 1.2 nm（2次電子像、加速電圧30 kV）
・EDS検出器搭載
・EBSD検出器搭載
・低真空機能搭載 - 担当者
- 小池 徳貴
低真空分析走査電子顕微鏡 利用料金
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