分光エリプソメーター
分光エリプソメーター
設備情報更新日：2026/03/10
- CMP設備ID
- CMP-040
- メーカー
- ホリバ・ジョバンイボン
- 型式
- UVISEL ER AGMS-NSD
- 仕様
-
・光源: キセノンランプ
・測定可能波長範囲: 0.6 eV〜6.0 eV（207 nm〜2067 nm）
・スポットの大きさ: 約 2 mm x 5 mm
・位相変調型エリプソメーター - 担当者
- 宮家 和宏
分光エリプソメーター 利用料金
利用料金については、下記「分光エリプソメーターに関するお問い合わせ」よりお問い合わせください。