微小デバイス特性評価装置
微小デバイス特性評価装置 （nanoEBAC）
設備情報更新日：2026/03/10
- CMP設備ID
- CMP-058
- メーカー
- 日立ハイテク
- 型式
- NE4000
- 仕様
-
・ピエゾ素子を用いたプロービングシステム
・半導体デバイス・アナライザ（B1500A） - 担当者
- 小池 徳貴
微小デバイス特性評価装置 利用料金
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