多機能走査型X線光電子分光分析装置
多機能走査型X線光電子分光分析装置 （XPS）
設備情報更新日：2026/03/23
- CMP設備ID
- CMP-062
- メーカー
- アルバック・ファイ
- 型式
- PHI 5000 Versa Probe Ⅱ
- 仕様
-
・X線源：単色化Al Kα線（集束X線型、スポット径100μm-9μm）、Mg Kα線、Zr L線
・エネルギー分析器：同心半球型（半径 139.7 mm）
・検出器：16 チャンネル
・絶縁物測定：帯電中和用電子銃、Ar+イオン銃
・スパッタ深さ分析：Ar+イオン銃、GCIB（Arn+ Gas Cluster Ion Beam）
・5軸ステージ：X, Y, Z, Tilt, Rotation
・試料加熱冷却：-150℃-500℃ - 担当者
- 石原 綾子
淺野間 文夫
大野 智子
概要
試料にX線（通常はAl Kα線：1486.6eV）を照射し、生成した光電子の運動エネルギーとその個数を測定する装置です。運動エネルギーは束縛エネルギーに換算して表示します。非弾性散乱を起こさない光電子はほとんど試料表面で生成されるという特徴を利用して、数nm程度のごく表面の分析が可能です。構成元素の組成分析、化学状態分析、定量分析を行うことができます。化学状態分析ができるため別名ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)とも呼ばれます。
多機能走査型X線光電子分光分析装置 利用料金
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