走査透過電子顕微鏡
走査透過電子顕微鏡 （STEM）
設備情報更新日：2026/03/10
- CMP設備ID
- CMP-065
- メーカー
- 日立ハイテク
- 型式
- HD-2700
- 仕様
-
・加速電圧: 200 kV、120 kV、80 kVの3つから選択可
・冷陰極電界放出形電子銃搭載
・照射系球面収差補正器搭載
・分解能: 136 pm（加速電圧 200 kV、ADF-STEM）
・検出器・カメラ
・明視野（BF-STEM）検出器
・環状暗視野（ADF-STEM）検出器
・二次電子（SEM）検出器
・エネルギー分散X線分光（EDS）検出器
・電子エネルギー損失分光（EELS）検出器
・電子回折図形撮影用CCDカメラ - 担当者
- 宮家 和宏
走査透過電子顕微鏡 利用料金
利用料金については、下記「走査透過電子顕微鏡に関するお問い合わせ」よりお問い合わせください。