超高分解能電界放出型電子顕微鏡
超高分解能電界放出型電子顕微鏡 （FE-SEM）
設備情報更新日：2026/03/10
- CMP設備ID
- CMP-066
- メーカー
- 日立ハイテク
- 型式
- SU9000
- 仕様
-
・加速電圧: 500 V〜30 kVの範囲で選択可
・冷陰極電界放出形電子銃搭載
・インレンズ型対物レンズ搭載
・分解能
・0.4 nm（加速電圧 30 kV、SEM）
・0.8 nm （加速電圧 1 kV、SEM）
・0.34 nm（加速電圧 30 kV、BF-STEM）
・観察可能な試料サイズ
・平面SEM 最大 5.0 mm（縦）× 9.5 mm（横）× 3.5 mm（厚さ）
・断面SEM 最大 5.0 mm（縦）× 6.5 mm（横）× 2.0 mm（厚さ）
・検出器
・二次電子・低角度反射電子検出器
・高角度反射電子検出器
・明視野透過電子（BF-STEM）検出器
・環状暗視野透過電子（ADF-STEM）検出器
・エネルギー分散X線分光（EDS）検出器 - 担当者
- 宮家 和宏
超高分解能電界放出型電子顕微鏡 利用料金
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