多機能分析走査電子顕微鏡
多機能分析走査電子顕微鏡 （SEM）
設備情報更新日：2026/03/10
- CMP設備ID
- CMP-074
- メーカー
- 日本電子
- 型式
- JSM-IT800
- 仕様
-
・加速電圧: 100 V 〜 30 kV（減速機能あり）
・分解能: 0.5 nm（2次電子像、加速電圧15 kV）
・分解能: 0.7 nm（2次電子像、加速電圧1 kV）
・EDS検出器搭載
・EBSD検出器搭載
・CL検出器搭載
・低真空機能搭載 - 担当者
- 小池 徳貴
多機能分析走査電子顕微鏡 利用料金
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